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Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (en Portugués)
Anjli Sharma; Sanjeev K. Kanth; Ho Seob Kim (Autor)
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Edições Nosso Conhecimento
· Tapa Blanda
Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (en Portugués) - Anjli Sharma; Sanjeev K. Kanth; Ho Seob Kim
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Reseña del libro "Tecnologia Mems: Uma Abordagem Para a Fabricação de Lentes Electrostáticas Finas: Uma Microcoluna Ultraminiaturizada com Emissor de Campo 2D-Cnt (um Mini-Sem) (en Portugués)"
Desde a descoberta da microcoluna pela Chang em 1980, tem havido um imenso interesse na microcoluna miniaturizada devido às suas várias aplicações como a litografia de feixe eletrônico direto, dispositivo de baixo custo, baixa voltagem-SEM, e porportátil-SEM devido ao seu alto desempenho em termos de rendimento. O tamanho compacto permite que as microcolunas sejam montadas em forma de matriz, o que melhora significativamente o desempenho de imagem ou a capacidade de produção de litografia. Fabricamos e investigamos três projetos diferentes de microcolunas, todos utilizando a lente de fonte modificada, distância de trabalho diferente e com e sem lente objetiva. A qualidade da imagem e a corrente da sonda de todas as microcolunas recém-fabricadas foram investigadas. As lentes eletrostáticas foram fabricadas pela técnica MEMS. O emissor de campo 2D-CNT foi utilizado como emissor da fonte para estas colunas. Nosso resultado sugeriu que entre todas as três estruturas de microcolunas, a microcoluna ultraminiaturizada mostrou a maior corrente de sonda ~9,5 nA. Uma microcoluna ultraminiaturizada pode ser um candidato promissor para a próxima geração de ferramentas litográficas, pois o projeto é mais adequado para a microcoluna integrada em escala de wafer do que a microcoluna convencional.
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El libro está escrito en Portugués.
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