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Nanometer-Scale Resistivity of Copper Films and Interconnects: Simulation and Measurement of Nanometer-Scale Resistivity of Copper Films for Interconnect Applications
Arif Emre Yar¿Mb¿Y¿K (Autor)
·
Vdm Verlag
· Tapa Blanda
Nanometer-Scale Resistivity of Copper Films and Interconnects: Simulation and Measurement of Nanometer-Scale Resistivity of Copper Films for Interconnect Applications - Arif Emre Yar¿mb¿y¿k
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