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fundamental aspects of silicon oxidation (en Inglés)
Yves J. Chabal
(Ilustrado por)
·
Springer
· Tapa Dura
fundamental aspects of silicon oxidation (en Inglés) - Chabal, Yves J.
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Reseña del libro "fundamental aspects of silicon oxidation (en Inglés)"
This book deals with an important basic technology in microelectronics. It discusses silicon oxidation in a tutorial fashion from both experimental and theoretical viewpoints. The authors report on the state of the art both at Lucent Technology and in academic research. The book will appeal to researchers and advanced students.
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El libro está escrito en Inglés.
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